秦代，县境属巨鹿郡；汉高帝八年（前199），深泽为侯国，属中山郡，为“深泽”地名载于史籍之始；景帝三年（前154），中山郡改称中山国，辖深泽；汉武帝元朔五年（前124），除深泽侯国，改为深泽县；西汉末，改称南深泽县，隶涿郡；东汉建初四年（79）改隶乐成国；延光元年（122），乐成国改名安平国隶安平；延熹元年（158）改安平为博陵郡，南深泽隶博陵；三国时，南深泽为魏地，隶博陵郡；晋，南深泽隶博陵国；北魏时，去“南”字为深泽县，隶博陵；太平真君七年（446）安国县省入深泽县(景明二年复安国县)；北齐、北周时，省深泽县，归入博陵郡安平县；隋开皇六年（586）复置深泽县，治所在今治，属定州；大业三年（607）改定州为博陵郡；大业九年（613），改博陵为高阳郡，均辖深泽县；唐武德四年（621）复置定州；天宝元年（742年）改定州为博陵郡，隶博陵；乾元元年（758），复置博陵郡为定州，隶定州；景福二年（893）二月，置祁州于无极，深泽隶祁州；五代承唐旧制，深泽隶祁州；清代，深泽初隶保定府祁州；雍正十二年（1734）改属定州；1913年直隶省下设四道，津海道、大名道、口北道、范阳道，深泽属范阳道；1914年范阳道改名保定道，深泽属保定道；1928年废道制，深泽改属河北省；1938年属晋察冀边区冀中区第二专区；1940年12月属晋察冀边区冀中区第八专区；1944年，属晋察冀边区冀中区第七专区；1946年，属晋察冀边区冀中区第十一专区；1948年2月，属晋察冀边区冀中区第九专区；1949年8月1日，属河北省定县专区；1954年6月18日，划归石家庄专区；1958年11月12日，撤销深泽县并入束鹿县；1961年5月5日从束鹿县析出省入晋县；1962年1月1日从晋县析出，恢复深泽县治，仍属石家庄专区，1967年属石家庄地区；1993年石家庄地、市合并，属石家庄市至今。