1912年，属吴县。
1929年，今境分属吴县第九、第十三区。
1934年，属吴县第九区。
1947年，属吴县阳澄区。
1949年4月，仍属吴县阳澄区。
1950年3月，属吴县唯亭区。
1956年，分属唯亭区、车坊区。
1957年3月，撤区并乡，分属吴县唯亭、跨塘乡。
1958年9月，改为唯亭、跨塘人民公社。
1961年4月，跨塘人民公社划归苏州市郊。
1964年1月，跨塘人民公社划出洋泾、板泾2大队归娄葑人民公社后，复归吴县。
1983年7月，政社分设，复设唯亭、跨塘乡。
1985年9月，唯亭乡改镇。
1993年7月，跨塘乡改镇。
1994年5月，唯亭、跨塘等5乡镇划归苏州市直接管辖，由苏州工业园区管委会代管。
2000年12月，跨塘镇倪浜、唐庄2村划归娄葑镇。
2003年7月，跨塘镇临湖村划归娄葑镇。
2005年5月，跨塘镇并入唯亭镇。
2012年12月26日，唯亭撤镇设立街道。