后梁开平三年（909），吴江置县，属澄源乡。
宋、元、明至清初因之。
清雍正四年（1726），属震泽县澄源下乡。
宣统二年（1910），属震泽县严墓镇。
1912年，属吴江县严墓市。
1929年，属吴江县第七区。
1946年，属严墓区。
1950年1月，设桃源乡，属吴江县严墓区。
1958年9月，改设桃源人民公社。
1983年8月，政社分设，复置桃源乡。
1988年8月，桃源乡撤乡建镇。
2001年10月，青云镇并入。
2003年12月，铜罗镇并入。