隋唐时称斜谷城。
清朝时称齐家寨。
1949年5月，为郿县第四区，辖7个小乡，7月另设立齐镇市。
1956年2月，设齐镇乡，辖18个村。
1958年9月，成立红旗公社（含首善），辖西凉阁、齐镇、上西铭、首善4个管理区，共40个生产大队，12月并入周至县。
1961年9月，复归眉县，设齐镇公社，辖18个生产大队。
1984年4月，改公社为乡镇，恢复为齐镇，辖18个行政村。
2005年10月，积谷寺村与斜峪关村合并为斜谷村．贾家寨村与上西铭村、雷村合并为三星村，下庙村与下西铭村合并为齐西村，党东村与党西村合并为党家寨村，下辖13个行政村。