明清时期实行里甲制，辖区设有端氏中（端氏）、端氏西（槐庄）、道仁东（野鹿）、庞庄西（东古堆）、庞庄中（杏林）、八里北（秦庄）。
民国实行区村制，端氏为第二区。
1941年10月，太岳南进支队开创沁东抗日根据地，接管了原国民党98军成立的沁水县政府，成立了沁（水）东抗日县政府，端氏属沁（水）东第一区。
1941年12月为纪念抗战牺牲的爱国将领武士敏将军，沁（水）东县改为士敏县，端氏属士敏县第一区。
1947年7月士敏县沁水（南）县合并称沁水县，全县辖7个区，端氏为第五区治所。
1950年2月行政区划调整为5个区，端氏为第四区治所。
1954年11月改称端氏区。
1956年3月撤销区级建制，端氏区改称端氏乡。
1958年9月将端氏等6个乡合并为端氏乡卫星人民公社。
1958年11月沁水县与阳城县合并，归阳城县管辖，1959年9月沁水县与阳城县分治，复归沁水县管辖。
1960年8月称端氏人民公社。
1984年5月更名端氏镇。
2001年1月，原必底乡并入端氏镇。