南宋咸淳间（1265～1274）属於潜县潜川乡，明成化间（1465～1487）属潜川后乡，清嘉庆十七年（1812）亦属潜川后乡。
民国初属紫溪乡，民国21年（1932）沈家坞属里家乡，民国27年（1938）属紫云乡，民国36年（1947）属紫云乡至解放。
1950年为青山乡沈家村，1958年为昌化县潜川公社青山管理区沈家生产队，1960年9月属临安县，1961年为潜川公社沈家坞、林峰生产大队，1972年为马山公社沈家坞、林峰大队，1984年为马山乡沈家坞、林峰村，2001年属潜川镇。
2007年村规模调整，两村合并为沈家坞村，辖12个自然村。